天猫正版半导体工艺与集成电路制造技术 韩郑生 科学出版社

《正版半导体工艺与集成电路制造技术》由韩郑生编著，科学出版社出版，系统介绍了半导体制造工艺与集成电路制造的核心技术。全书涵盖硅材料制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、化学机械抛光等关键工艺环节，并结合先进制程节点的发展趋势，深入解析工艺集成与器件结构优化。内容注重理论与实践结合，辅以典型工艺流程图和实际案例，适合微电子、集成电路及相关专业的本科生、研究生学习使用，也可供半导体行业工程技术人员参考。该书内容权威、结构清晰，是了解现代集成电路制造技术的权威教材与实用指南，对推动我国半导体人才培养与产业技术发展具有重要意义。