天猫正版半导体工艺与集成电路制造技术 韩郑生 科学出版社

《正版半导体工艺与集成电路制造技术》由韩郑生编著，科学出版社出版，是一本系统介绍半导体制造工艺与集成电路制造技术的专业教材。全书涵盖硅材料制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、化学机械抛光等关键工艺环节，结合先进制程发展趋势，深入讲解各技术原理与实际应用。内容兼顾理论基础与工程实践，适合微电子、集成电路及相关专业的本科生、研究生学习使用，也可供半导体行业工程技术人员参考。该书结构清晰、语言严谨，配有丰富的图表与实例，有助于读者全面掌握现代集成电路制造的核心技术，是半导体领域重要的学习与研究资料。