天猫微加工技术工艺原理与实验 陈军 等 编 大学教材大中专 新华书店正版图书籍 清华大学出版社

《微加工技术工艺原理与实验》由陈军等编著，是清华大学出版社出版的大中专院校教材，新华书店正版发行。本书系统介绍了微加工技术的基本原理、关键工艺及实验方法，涵盖光刻、薄膜沉积、刻蚀、微纳结构制备等核心技术内容。结合理论讲解与实验操作，注重培养学生实践能力和创新思维。教材内容紧跟微纳制造领域发展前沿，结构清晰、语言简练，配有典型实例与实验指导，适用于微电子、材料、机械等相关专业本科生及研究生教学使用，也可供科研人员与工程技术人员参考。