天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）编著，电子工业出版社引进出版，是半导体制造领域的权威教材。本书系统介绍了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程，重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂及化学机械抛光等核心技术。第六版新增对先进节点（如7nm及以下）工艺、极紫外光刻（EUV）及三维集成等尖端技术的图解说明，辅以大量工艺流程图与实例，便于理解与实践。内容深入浅出，兼顾理论基础与产业应用，适合作为微电子、集成电路等相关专业研究生及工程师的实用参考书，助力读者掌握现代芯片制造的核心技能。