天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）著，电子工业出版社出版，是半导体制造领域的经典教材。本书系统阐述了现代芯片制造的核心工艺，涵盖光刻、薄膜沉积、刻蚀、掺杂及化学机械抛光等关键技术，特别聚焦图化薄膜工艺等尖端制程。内容深入浅出，结合大量图示与实例，兼顾理论基础与工程实践，适合作为高校微电子、集成电路专业研究生及本科高年级学生的教材，也可供半导体行业研发与工艺工程师参考。第六版更新了先进节点（如7nm、5nm及以下）工艺进展，紧跟产业前沿，是掌握半导体制造技术的权威指南。