天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）撰写，电子工业出版社出版，是半导体制造领域的权威教材。本书系统介绍了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程，重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂及化学机械抛光等关键技术。第六版新增图化薄膜工艺与先进节点（如7nm及以下）尖端技术内容，结合大量图示与实例，深入浅出，兼具理论深度与实践指导价值。适合作为高校微电子、集成电路专业研究生教材，也可供半导体行业工程师参考，是掌握现代芯片制造工艺不可或缺的经典读物。