天猫微纳米加工技术及其应用(第四版)

《微纳米加工技术及其应用（第四版）》系统介绍了微纳米尺度下的先进制造工艺与理论基础，涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、纳米压印、自组装等核心技术，并融合了近年来在材料、设备和工艺方面的最新进展。本书注重理论与实践结合，详细阐述了微机电系统（MEMS）、纳米电子器件、生物芯片、光子器件等领域的典型应用案例。第四版新增了对极紫外光刻、原子层沉积、二维材料加工等前沿技术的深入解析，同时强化了产业化应用与可靠性分析内容。适合微电子、材料、机械及交叉学科的研究人员、工程师和高校师生参考，是微纳米制造领域的重要技术指南与教学资源。