天猫正版集成电路制造技术 原理与工艺 第3版 田丽 电子工业出版社 工程和信息部规划教材 电路制造教材教程书籍

《正版集成电路制造技术原理与工艺 第3版》由田丽主编，电子工业出版社出版，是工程与信息类规划教材中的权威教程。本书系统阐述了集成电路制造的基本原理、关键工艺及最新技术进展，涵盖硅片制备、氧化、光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积及互连等核心环节。内容理论扎实、结构清晰，结合工程实践案例，注重技术应用与前沿发展。第3版更新了先进制程节点（如纳米级工艺）、新材料（如高k介质、金属栅）及三维集成等热点内容，适合作为微电子、集成电路、电子信息等专业本科生与研究生的教材，也可供集成电路产业技术人员参考，助力培养高素质工程技术人才。